用途:專為微電子行業(yè)量身定做,適用于硅、砷化鎵、磷化銦等基片6″8″盤的生產(chǎn)工藝檢查;可以方便的快移和精確的位移
檢查;也可以適用其它需較大面積標(biāo)本的工藝檢查。
性能特點(diǎn):
1、 配置大視野目鏡和長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片),視場(chǎng)大而清晰。
2、配置大移動(dòng)范圍的載物臺(tái),能快速和慢速移動(dòng)。
3、粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),粗動(dòng)松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:2μm。
4、6V 20W鹵素?zé)?/span>,亮度可調(diào)。
5、三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光觀察,可進(jìn)行100%透光攝影。
主要技術(shù)參數(shù):
1、三目鏡筒:傾斜30 °,瞳距55mm-75mm,視度±5°
2、目鏡:WF10X/18mm
3、長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)PL 5X/0.12 、PL L10X/0.25 、PL L20X/0.40 、PL L40X/0.60 、PL L80X/0.8
4、總放大倍數(shù):50X-800X
5、載物臺(tái):尺寸: 280mm×270mm,移動(dòng)范圍: 204mm×204mm
6、調(diào)焦:粗微動(dòng)同軸 升降范圍25mm 微動(dòng)格值0.002mm
7、光 源:柯勒照明 濾色片座 可調(diào)鹵素?zé)?V20W
8、正交偏光裝置
選配件:
1、目鏡:WF16X/11mm,WF20X/9mm,10X帶尺可調(diào)目鏡
2、長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)PL L 50X/0.70、 PL L 60X/0.75 (彈簧)、 PL L 100X/0.85 (彈簧) ,
平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片): PL 100X/1.25 (彈簧,油)
3、攝像系統(tǒng):數(shù)碼攝像頭500萬(wàn)或1000萬(wàn)像素;610萬(wàn)工業(yè)攝像頭
4、測(cè)量軟件,金相分析軟件等
| 招標(biāo)產(chǎn)品 | 品牌/型號(hào) | 招標(biāo)單位 | 中標(biāo)單位 | 中標(biāo)價(jià)格 | 中標(biāo)日期 |