光譜范圍: 700 nm - 1700 nm
SE 805是近紅外光譜橢偏儀,是在近紅外波段基于快速干涉調(diào)制探測的高性能光譜橢偏儀。SE 805使用步進(jìn)掃描分析器方式,調(diào)制光的強(qiáng)度在固定的分析器位置被測量,使用寬帶固體探測器。
主要應(yīng)用
·測量單層膜或多層膜的厚度和折射率
·在近紅外波段測量材料的光學(xué)性質(zhì)
·測量厚度梯度
·確定材料成分
·分析較厚的膜,厚度范圍可到30微米
·適合測量In攙雜的半導(dǎo)體材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
選項(xiàng)
·近紅外光譜擴(kuò)展選項(xiàng),700 - 2300 nm
·計算機(jī)控制高性能消色差補(bǔ)償器
·計算機(jī)控制起偏器
·計算機(jī)控制自動角度計, 40o-90o, 精度0.01o
·手動x-y載物臺,150 mm行程
·電機(jī)驅(qū)動x-y載物臺,行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌圖掃描軟件
·透射測量樣品夾具
·攝象頭選項(xiàng),用于樣品對準(zhǔn)和表面檢測
·液體膜測量單元
·反射式膜厚儀FTPadvanced, 光斑直徑80微米
·微細(xì)光斑選項(xiàng)
·自動對焦選項(xiàng),結(jié)合地貌圖掃描選項(xiàng)
·SENTECH標(biāo)準(zhǔn)樣片
·附加許可,使 SpectrRay II軟件可以用于多臺電腦
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