LV200和LV300系列可以滿足半導體工業(yè)對晶圓片精細測量的要求,測量范圍可達200mm或300mm。它可以完成粗糙度、體積、納米尺度下的深度測量,由于采用獨特的非共聚焦成像技術,在保證高精度的前提下降低了對環(huán)境震動的要求。