固定角度,高重復性,12英寸(300mm)大面積激光橢偏儀,選件同SE800選件。主要用于玻璃上透明薄膜,發(fā)光材料和半導體有機物,吸收和透明襯底上多層膜,玻璃上防反射膜,微電子應用:SOI/高K/低K。選件請參考SE800選件。